晶(Jing)片(Pian)在(Zai)生(Sheng)产(Chan)过(Guo)程(Cheng)中(Zhong)，(?)原(Yuan)本(Ben)大(Da)气(Qi)中(Zhong)O2会(Hui)和(He)Si产(Chan)生(Sheng)化(Hua)学(Xue)反(Fan)应(Ying)得(De)O2+Si=SiO2（(?)二(?)氧(Yang)化(Hua)矽(Xi)）(?)为(Wei)原(Yuan)始(Shi)的(De)氧(Yang)化(Hua)层(Ceng)，(?)如(Ru)果(Guo)管(Guan)路(Lu)的(De)氧(Yang)含(Han)量(Liang)过(Guo)高(Gao)，(?)原(Yuan)始(Shi)的(De)氧(Yang)化(Hua)层(Ceng)会(Hui)超(Chao)出(Chu)原(Yuan)本(Ben)已(Yi)计(Ji)算(Suan)好(Hao)的(De)厚(Hou)度(Du)，(?)如(Ru)此(Ci)会(Hui)严(Yan)重(Zhong)影(Ying)响(Xiang)接(Jie)下(Xia)来(Lai)各(Ge)阶(Jie)段(Duan)的(De)制(Zhi)程(Cheng)。(?)