particle在(Zai)半(Ban)导(Dao)体(Ti)厂(Chang)中(Zhong)是(Shi)不(Bu)良(Liang)率(Lu)祸(Huo)首(Shou)之(Zhi)一(Yi)，(?)尤(You)其(Qi)在(Zai)现(Xian)在(Zai)的(De)制(Zhi)程(Cheng)越(Yue)来(Lai)越(Yue)小(Xiao)的(De)情(Qing)况(Kuang)下(Xia)，(?)如(Ru)管(Guan)路(Lu)中(Zhong)含(Han)有(You)过(Guo)多(Duo)的(De)particle，(?)对(Dui)生(Sheng)产(Chan)加(Jia)工(Gong)的(De)良(Liang)率(Lu)影(Ying)响(Xiang)很(Hen)大(Da)