管(Guan)道(Dao)颗(Ke)粒(Li)度(Du)检(Jian)测(Ce)

a.测(Ce)试(Shi)目(Mu)的(De)和(He)标(Biao)准(Zhun)

对(Dui)高(Gao)纯(Chun)气(Qi)体(Ti)输(Shu)送(Song)系(Xi)统(Tong)微(Wei)粒(Li)浓(Nong)度(Du)的(De)检(Jian)测(Ce)

b.测(Ce)试(Shi)仪(Yi)器(Qi)

1cf尘(Chen)埃(Ai)粒(Li)子(Zi)计(Ji)数(Shu)器(Qi)（(?)0.1um）(?)

c.测(Ce)试(Shi)前(Qian)准(Zhun)备(Bei)

(1)在(Zai)图(Tu)纸(Zhi)上(Shang)标(Biao)出(Chu)微(Wei)粒(Li)测(Ce)试(Shi)的(De)管(Guan)路(Lu), 并(Bing)将(Jiang)取(Qu)样(Yang)点(Dian)和(He)吹(Chui)扫(Sao)气(Qi)体(Ti)导(Dao)入(Ru)点(Dian)在(Zai)图(Tu)上(Shang)标(Biao)出(Chu)。(?)

(2)将(Jiang)经(Jing)过(Guo)过(Guo)滤(Lu)的(De)纯(Chun)净(Jing)气(Qi)体(Ti)接(Jie)入(Ru)测(Ce)试(Shi)管(Guan)路(Lu)中(Zhong), 调(Diao)节(Jie)流(Liu)量(Liang), 确(Que)保(Bao)流(Liu)量(Liang)不(Bu)超(Chao)过(Guo)过(Guo)滤(Lu)器(Qi)的(De)额(E)定(Ding)流(Liu)量(Liang)。(?)

(3)确(Que)保(Bao)待(Dai)测(Ce)系(Xi)统(Tong)中(Zhong)的(De)阀(Fa)门(Men)和(He)调(Diao)压(Ya)阀(Fa)处(Chu)在(Zai)开(Kai)启(Qi)位(Wei)置(Zhi)。(?)

e.测(Ce)试(Shi)方(Fang)法(Fa)

（(?)1）(?)检(Jian)查(Cha)系(Xi)统(Tong)内(Nei)的(De)气(Qi)体(Ti)流(Liu)速(Su), 确(Que)保(Bao)系(Xi)统(Tong)流(Liu)量(Liang)符(Fu)合(He)微(Wei)粒(Li)测(Ce)试(Shi)的(De)最(Zui)小(Xiao)的(De)速(Su)度(Du)要(Yao)求(Qiu)。(?)

(2)使(Shi)用(Yong)管(Guan)径(Jing)至(Zhi)少(Shao)是(Shi)1/4”(?) 的(De)不(Bu)锈(Xiu)钢(Gang)EP管(Guan)材(Cai)和(He)微(Wei)粒(Li)仪(Yi)相(Xiang)连(Lian)。(?)选(Xuan)取(Qu)各(Ge)系(Xi)统(Tong)的(De)最(Zui)不(Bu)利(Li)的(De)用(Yong)气(Qi)点(Dian)（(?)即(Ji)系(Xi)统(Tong)内(Nei)管(Guan)路(Lu)最(Zui)长(Chang)、(?)走(Zou)向(Xiang)最(Zui)复(Fu)杂(Za)的(De)用(Yong)气(Qi)点(Dian)）(?)进(Jin)行(Xing)测(Ce)试(Shi)，(?)或(Huo)经(Jing)甲(Jia)方(Fang)工(Gong)程(Cheng)主(Zhu)管(Guan)指(Zhi)定(Ding)用(Yong)气(Qi)点(Dian)进(Jin)行(Xing)抽(Chou)样(Yang)测(Ce)试(Shi)。(?)

用(Yong)尘(Chen)埃(Ai)粒(Li)子(Zi)计(Ji)数(Shu)器(Qi)连(Lian)接(Jie)气(Qi)体(Ti)管(Guan)道(Dao)采(Cai)样(Yang)。(?)仪(Yi)器(Qi)布(Bu)置(Zhi)示(Shi)意(Yi)图(Tu)如(Ru)下(Xia)：(?)

尘(Chen)埃(Ai)粒(Li)子(Zi)计(Ji)数(Shu)器(Qi)进(Jin)行(Xing)在(Zai)线(Xian)监(Jian)测(Ce)测(Ce)量(Liang)，(?)当(Dang)观(Guan)察(Cha)到(Dao)读(Du)数(Shu)满(Man)足(Zu)要(Yao)求(Qiu)并(Bing)稳(Wen)定(Ding)一(Yi)段(Duan)时(Shi)间(Jian)之(Zhi)后(Hou)，(?)即(Ji)停(Ting)止(Zhi)测(Ce)试(Shi)。(?)尘(Chen)埃(Ai)粒(Li)子(Zi)测(Ce)量(Liang)在(Zai)连(Lian)续(Xu)十(Shi)个(Ge)周(Zhou)期(Qi)（(?)1min为(Wei)一(Yi)个(Ge)周(Zhou)期(Qi)）(?)合(He)格(Ge)之(Zhi)后(Hou)停(Ting)止(Zhi)测(Ce)量(Liang)。(?)

(3)持(Chi)续(Xu)抽(Chou)样(Yang)直(Zhi)到(Dao)系(Xi)统(Tong)达(Da)到(Dao)验(Yan)收(Shou)标(Biao)准(Zhun)。(?)

测(Ce)试(Shi)完(Wan)成(Cheng)

（(?)1）(?)把(Ba)粒(Li)子(Zi)计(Ji)数(Shu)器(Qi)从(Cong)系(Xi)统(Tong)中(Zhong)移(Yi)走(Zou),然(Ran)后(Hou)降(Jiang)低(Di)系(Xi)统(Tong)的(De)流(Liu)量(Liang)。(?)

（(?)2）(?)在(Zai)测(Ce)试(Shi)的(De)完(Wan)成(Cheng)后(Hou)应(Ying)保(Bao)持(Chi)系(Xi)统(Tong)或(Huo)组(Zu)件(Jian)在(Zai)正(Zheng)压(Ya)下(Xia)或(Huo)在(Zai)吹(Chui)扫(Sao)状(Zhuang)态(Tai)中(Zhong)。(?)

（(?)3）(?)在(Zai)微(Wei)粒(Li)测(Ce)试(Shi)成(Cheng)功(Gong)完(Wan)成(Cheng)之(Zhi)后(Hou)通(Tong)知(Zhi)业(Ye)主(Zhu)质(Zhi)量(Liang)管(Guan)理(Li)员(Yuan)。(?)

测(Ce)试(Shi)失(Shi)败(Bai)：(?)经(Jing)过(Guo)测(Ce)试(Shi),如(Ru)果(Guo)系(Xi)统(Tong)达(Da)不(Bu)到(Dao)验(Yan)收(Shou)标(Biao)准(Zhun), 执(Zhi)行(Xing)以(Yi)下(Xia)步(Bu)骤(Zhou)来(Lai)找(Zhao)出(Chu)并(Bing)解(Jie)决(Jue)问(Wen)题(Ti)。(?)

（(?)1）(?)检(Jian)查(Cha)入(Ru)口(Kou)过(Guo)滤(Lu)器(Qi)

（(?)2）(?)把(Ba)粒(Li)子(Zi)计(Ji)数(Shu)器(Qi)直(Zhi)接(Jie)连(Lian)接(Jie)在(Zai)已(Yi)过(Guo)滤(Lu)过(Guo)的(De)气(Qi)源(Yuan)取(Qu)样(Yang)管(Guan)路(Lu)中(Zhong)。(?)如(Ru)果(Guo)微(Wei)粒(Li)计(Ji)数(Shu)仪(Yi)在(Zai)20 分(Fen)钟(Zhong)内(Nei)达(Da)到(Dao)零(Ling).说(Shuo)明(Ming)过(Guo)滤(Lu)器(Qi)功(Gong)能(Neng)正(Zheng)常(Chang), 间(Jian)歇(Xie)性(Xing)吹(Chui)扫(Sao)管(Guan)路(Lu)系(Xi)统(Tong),重(Zhong)新(Xin)测(Ce)量(Liang)直(Zhi)到(Dao)系(Xi)统(Tong)到(Dao)达(Da)验(Yan)收(Shou)标(Biao)准(Zhun)。(?)

g.具(Ju)体(Ti)测(Ce)试(Shi)步(Bu)骤(Zhou)

PN2（(?)10）(?)、(?)Par（(?)5）(?)、(?)PHe（(?)1）(?)设(She)备(Bei)接(Jie)头(Tou)共(Gong)同(Tong)串(Chuan)联(Lian)，(?)一(Yi)次(Ci)完(Wan)成(Cheng)颗(Ke)粒(Li)测(Ce)试(Shi)。(?)

NH3（(?)5）(?)、(?)SiH4（(?)5）(?)、(?)1% PH3/H2（(?)5）(?)、(?)NF3（(?)5）(?)、(?)PH2（(?)5）(?)针(Zhen)对(Dui)不(Bu)同(Tong)的(De)气(Qi)体(Ti)不(Bu)同(Tong)管(Guan)道(Dao)单(Dan)独(Du)颗(Ke)粒(Li)测(Ce)试(Shi)；(?)